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EUV光源 原理
2021年2月4日—EUV的技術原理,藉由精細的雷射光線與水滴相撞擊,搭配音樂為大家帶來了無與倫比的感官享受在這16天的展期中,我們攜手創造了3項成就:☝️見證 ...,2023年7月5日—这15年历尽坎坷,要理解其中的难点,我们不得不谈一谈13.5纳米的EUV光源的发光基本原理,EUV...
全球瘋搶EUV 曝光機!究竟是摩爾定律的救命曙光
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2023年3月10日—極紫外光(Extremeultraviolet,EUV)是波長小於13.5奈米的光,使用EUV作為光源的曝光機,即為EUV曝光機。...為了讓大家盡量了解原理,三角形圖案已 ...
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